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數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z512MGX、Z522MGX

  • 產(chǎn)品型號(hào):SEC-Z512、Z522、Z524
  • 更新日期:2024-11-15

簡(jiǎn)要描述:數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z512MGX、Z522MGX多用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中,我公司提供進(jìn)口Z514、Z524,保修期1年。

產(chǎn)品詳情

暢銷型號(hào):SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300。

國內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。



數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z512MGX、Z522MGX

一、產(chǎn)品概述:

SEC-Z512屬于SEC-500X系列,高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器多用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中,國內(nèi)多回收、二次銷售,我公司提供進(jìn)口Z514、Z524,保修期1年。


二、產(chǎn)品特點(diǎn):

1)多種氣體及多種流量范圍,可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量,現(xiàn)場(chǎng)設(shè)定;

2)超高精度:±1.0% S.P.(25-100% F.S.);±0.25% F.S.(≤25% F.S.);

3)快速響應(yīng):<1秒(全量程范圍內(nèi),任意設(shè)置點(diǎn));

4)非常方便的現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置操作;

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,可以zui大限度地減少庫存;

6)與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;

7)模擬通信與數(shù)字通信(DeviceNet)可同時(shí)進(jìn)行;

8)氣體接觸部件材料:SUS 316L不銹鋼(1sccm~50slpm F.S.類型);SUS 316L不銹鋼,Viton(氟化橡膠-密封),PTFE(聚四氟乙烯),磁性不銹鋼(100~200slpm F.S.類型)。


數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z512MGX、Z522MGX

三、SEC-Z512產(chǎn)品參數(shù):

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式

型號(hào)*1

SEC-Z512、Z514

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

全標(biāo)準(zhǔn)流量(N2轉(zhuǎn)換流量)

1/2SCCM

10SCCM-10SLPM

10-50SLM

閥門類型

O:通常打開 C:通常關(guān)閉

關(guān)閉控制閥時(shí)的流量

≤2% F.S.

流量測(cè)量范圍

0-100% of F.S.

精確性*2

±1.0%F.S.

±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

工作溫度

5-50°C(建議溫度范圍:15-45°C)

響應(yīng)

≤1秒:超過全流量范圍

直線性

≤±0.5% F.S.

反復(fù)性

≤±0.2% F.S.

工作壓差值

≤300kPa(d)

zui大工作壓力

450kPa(g)

耐壓

1000kPa(g)

外部泄漏率

≤5x10-12Pa·m3/s(He)

流量設(shè)定信號(hào)

0.1-5V DC(2%-F.S.);輸入阻抗1MΩ或更高

流量輸出信號(hào)

0-5VDC(0%-F.S.);zui小負(fù)荷阻力2kΩ或更高

數(shù)字界面

地址功能:RS-485(轉(zhuǎn)換速度38,400bps)

F-Net協(xié)議,DevceNet

接液部材質(zhì)

316L不銹鋼(表面拋光)

電源

+15V±5% 150mA

-15V±5% 150mA

信號(hào)反應(yīng)

模擬:D-Sub 9-pin(TOP)

數(shù)字:2LAN jacks(TOP)

標(biāo)準(zhǔn)接頭*3

1/4 inch VCR

1/4 inch VCR

1.5 inch IGS

選擇:1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

可選1.125 inch IGS

安裝方向

自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX,和Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運(yùn)用特殊軟件改變。
           *2流量精度保證溫度符合SEMI E56-1296標(biāo)準(zhǔn)。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
           *3IGS:完整氣體系統(tǒng)。
           *SCCM和SLM是表示氣體流量的記號(hào)。(mL/min,L/min,at0°C和101.3kPa)。


本公司同時(shí)提供美國AALBORG、美國Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器。

進(jìn)口數(shù)字型號(hào):SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG。

進(jìn)口低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

進(jìn)口低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S,omega FMA1815S。

國內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32。

國內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M

配套的閥門管件:韓國TKF 1/4手動(dòng)隔膜閥S4DVN-VM-P、1/2手動(dòng)隔膜閥S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN,美國Valex不銹鋼管,1/4"EP級(jí)不銹鋼管、3/8"EP級(jí)不銹鋼管、1/2"EP級(jí)不銹鋼管。



 
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