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horiba IGS氣體質量流量計Z517/Z527MGX IGS接口，EtherCat通訊 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數字通訊RS485 F-Net協議

horiba高精度氣體質量流量計Z552/Z562MGX 小量程0-100SLM，大量程0-500SLM 高精度：2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數字通訊RS485 F-Net協議

SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質量流量計Z522/Z532/Z542 小量程0-20sccm，大量程0-200SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數字通訊RS485 F-Net協議

horiba高精度氣體質量流量計SEC-Z514MGX/Z524MGX 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.) 數字通訊：DeviceNet

horiba高精度氣體質量流量計Z512 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數字通訊RS485 F-Net協議

SEC-N112系列質量流量控制器特點：1、直接測量管道內流體的質量流量；2、工作穩定可靠；3、適應的流體介質面寬；4、廣泛的應用環境；5、多種實時在線測控功能；6、可擴展性好。

Horiba質量流量計SEC-8000系列特點： 高精度±1.0%設定點 高速響應 超潔凈設計 符合RoHS標準

SEC-Z500X系列 Horiba質量流量計高精度±1.0%設定點。該質量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償，并實現在所有流量控制范圍內的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標定數據由HORIBA STEC公司的標準氣體測量系統測量。 高速響應：裝配“可變PID系統”，可在任意兩個設定點之間實現1秒響應。可變PID根據流量點設置不斷變化。

horiba流量計SEC-Z700S可以直接測量管道內流體的質量流量，測量精度為0.2級，流體測量管內部無障礙物和活動部件，因而可靠性高、壽命長。

Horiba SEC-Z700質量流量計SEC-Z714MGX-CS屬于高性能數字式質量流量控制器，是半導體中設備CVD機臺、Etch機臺中的氣體控制核心部件